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    标准气体为气体工业名词。标准物质是浓度均匀的,良好稳定和量值准确的测定标准,它们具有复现,保存和传递量值的基本作用,在物理,化学,生物与工程测量领域中用于校准测量仪器和测量过程,评价测量方法的准确度和检测实验室的检测能力,确定材料或产品的特性量值,进行量值仲裁等。

    标准气体分二元、三元和多元标准气体。

    电子特气广泛应用于半导体、微电子和相关的太阳能电池等高科技产业,或用于薄膜沉积、刻蚀、掺杂、钝化、清洗,或用作载气、保护气氛等等。由于半导体和微电子技术向更高性能、更高集成度发展,对电子特气的纯度提出了越来越高的要求,电子特气的的净化愈加关键和重要。目前国内的超高纯度净化技术主要依赖进口,自身的技术水准(6N)与国际先进水平(8-9N)有较大差距。本项目将设计和研发一系列高效、高容量、高选择性、低成本的新型纳米净化剂,对MO源、惰性气体、氢化物气体、反应性气体、腐蚀性气体等5个系列,50多种电子特气进行末端净化,使电子特气纯度由ppm级提高到ppb、ppt级,并将特气传输和控制系统对气体纯度的影响降至最小,从而极大地改善工艺能力,降低产品缺陷, 提高制程的产量,满足下一代半导体、微电子以及相关高技术发展的需要。本项目将形成有自主知识产权的超高纯度电子特气净化技术,解决超高纯度电子特气净化这一核心技术的国产化问题。

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    稀有气体是元素周期表上的0族元素。在常温常压下,它们都是无色无味的单原子气体,很难进行化学反应。稀有气体共有七种,它们是氦(He)、氖(Ne)、氩(Ar)、氪(Kr)、氙(Xe)、氡(Rn,放射性)、气奥(Og,放射性,人造元素)。其中Og是以人工合成的稀有气体,原子核非常不稳定,半衰期很短,只有5毫秒。根据元素周期律,估计Og比氡更活泼。不过,理论计算显示,它可能会非常活泼。然而,碳族元素鈇(Fl)表现出与稀有气体相似的性质 。

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